Основные характеристики микроскопа:
Ускоряющее напряжение: 60, 80, 100, 120 кВ
Область освещения: 1 – 75 мкм
Апертура освещения: 0.02 – 5 миллирадиан
Увеличение: от 80х до 500 000х
Разрешение изображения: 0.2 – 0.34 нм
Разрешение по энергии неупругого рассеяния: 1.5 эВ
Область измерения энергии неупругого рассеяния: 0 – 2500 эВ.
Характерными особенностями данного микроскопа являются: